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一种集成硅光子晶体微腔的太赫兹探测器.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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一种集成硅光子晶体微腔的太赫兹探测器.pdf

    本发明提出了一种集成硅光子晶体微腔的太赫兹探测器，包括二维光子晶体平板、L1型光子微腔和太赫兹探测器，其中：二维光子晶体平板上晶格周期排列形成三角晶格结构，二维光子晶体平板上设置L1型光子微腔，L1型光子微腔上微纳加工制备太赫兹探测器。本发明光子晶体微腔耦合结构相比于天线耦合结构，损耗更小，效率更高，谐振的品质因素更高，消除了太赫兹探测器衬底效应的干扰，提高了探测器的灵敏度。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112747821 B (45)授权公告日 2022.05.17 (21)申请号 202011548240.7 (51)Int.Cl.

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