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2023-06-05 发布于四川
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一种基于POI结构的高性能声表面波谐振器及制造方法.pdf

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本发明涉及一种基于POI结构的高性能声表面波谐振器及制造方法。该声表面波谐振器，包括：由高声速材料的衬底层和形成在所述衬底层上的低声速材料层构成的至少一层布拉格反射层，所述衬底层厚度5λ，所述低声速材料为欧拉角(90°,90°,0°)厚度为0.1λ的LGS；形成在所述低声速材料层之上的单晶36°YXLiTaO3的厚度为0.5λ的压电层；以及设在所述压电层上的电极，电极占空比为0.5－0.6，其中，λ是所述电极激发的声波波长。本发明的声表面波谐振器高频低插损高FOM值且无杂散，TCF值接近零。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112737543 A (43)申请公布日 2021.04.30 (21)申请号 202011508066.3 (22)申请日 2020.12.18 (71)申请人广东广纳芯科技有限公司

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