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2023-06-05 发布于四川
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基于MEMS气体传感器阵列的气体检测系统.pdf

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本发明公开了一种基于MEMS气体传感器阵列的气体检测系统，包括：MEMS气体传感器阵列、分时复用的多通道电阻频率转换电路、可编程的加热器电路、EEPROM、可修调的片内振荡器、上电自复位电路以及数字控制电路；所述MEMS气体传感器阵列包括多个气体传感器；所述气体传感器包括加热器电阻和气敏材料电阻；其中，所述MEMS气体传感器阵列用于将环境中的气体信息转换为所述气敏材料电阻的变化；所述多通道电阻频率转换电路用于将选中通道的气敏材料的电阻值转化为相应频率的方波信号；所述片内振荡器用于产生稳定的系统所

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112730527 B (45)授权公告日 2022.05.13 (21)申请号 202011503218.0 CN 106059498 A,2016.10.26 (22)

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