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光学测定装置、波长校正方法以及标准试样.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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光学测定装置、波长校正方法以及标准试样.pdf

    本发明通过一种光学测定装置、波长校正方法以及标准试样。光学测定装置包括以下单元：理论干涉谱获取单元，其获取基于标准试样的已知的厚度、折射率以及消光系数进行数学计算得出的、关于该标准试样的反射率干涉谱或透过率干涉谱来作为理论干涉谱；实测干涉谱获取单元，其获取利用受光器经由衍射光栅接收对标准试样照射测定光而产生的反射光或透过光所生成的反射率干涉谱或透过率干涉谱来作为实测干涉谱；关联信息获取单元，其获取用于决定理论干涉谱与实测干涉谱的关于波长的关联的关联信息；以及波长校正单元，其参照关联信息将用于规定

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112710393 A (43)申请公布日 2021.04.27 (21)申请号 202011149855.2 (22)申请日 2020.10.23 (30)优先权数据 2019-1946

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