一种磁过滤扫描磁场装置.pdfVIP

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2023-06-05 发布于四川
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一种磁过滤扫描磁场装置.pdf

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本发明公开了一种磁过滤扫描磁场装置，涉及磁过滤技术领域，包括磁过滤管道，所述磁过滤管道的出口两侧均设置有铁芯，所述铁芯外侧缠绕有线圈，所述线圈通电产生磁力线，所述磁过滤管道的内部设置有偏压板，所述偏压板的位置与所述铁芯的位置对应。本发明的线圈产生的磁力线的方向和偏压板的电压均交替变化，使离子束斑的形状发生明显的改变，由原来的圆形束斑变成长方形束斑，大大提高了离子束斑的纵向宽度，在处理长条形工件时有着非常明显的优势，提高了均匀性和效率。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112725733 B (45)授权公告日 2022.08.12 (21)申请号 202110080477.5 C23C 14/35 (2006.01)