1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种MEMS接触式开关及其制备方法.pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约8千字
  • 约 7页
  • 2023-06-05 发布于四川
  • 举报

一种MEMS接触式开关及其制备方法.pdf

    本发明提出一种MEMS接触式开关及其制备方法，包括：帕尔贴制冷器；设置在所述帕尔贴制冷器的上表面的开关材料层；覆盖所述帕尔贴制冷器及所述开关材料层的上表面的传输电极层；形成在所述开关材料层的上表面并分隔所述传输电极层的毛细沟道；覆盖所述传输电极层，形成封有定量水气的密闭腔的封装管帽。本发明将MEMS开关与帕尔贴制冷器集成。开关中没有可动机械部件，没有材料磨损和机械粘连问题。开关的接触可靠性高，易于使用，且不易损坏。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112723302 B (45)授权公告日 2021.06.25 (21)申请号 202110338529.4 B81C 1/00 (2006.01) (22)申请日 2

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >