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本发明涉及一种激光化学腐蚀加工灰度阶梯结构产品的方法及其系统，该方法包括利用激光对玻璃表面进行加工，以得到初加工产品；对所述初加工产品采用化学腐蚀，以得到灰度阶梯结构的产品。本发明通过激光在玻璃表面加工出待加工的图案，改变玻璃表面及下层的材料物理化学性质，并利用碱性腐蚀液进行化学腐蚀，由此加工出灰度阶梯结构的产品，实现高效率地制备灰度阶梯结构的光学微型器件。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112719602 A
(43)申请公布日 2021.04.30
(21)申请号 202011622090.X
(22)申请日 2020.12.31
(71)申请人 英诺
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