原创力文档- 3
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- 2023-06-05 发布于四川
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公开了一种ATR扫描系统和一种用于将样本靠着ATR物镜的反射表面定位的方法。扫描系统包括ATR物镜(33)、控制器(40)、载物台(31)、和高度轮廓仪(35、37)。控制器形成反射表面(34)的图像。载物台以由控制器确定的速度在朝向反射表面的方向上移动样本(32)。当z轴载物台以第一速度移动样本时，高度轮廓仪测量样本和反射表面之间的最小距离。当样本距离ATR物镜的反射表面预定距离时，控制器使z轴载物台以第二速度向反射表面移动，同时形成反射表面的接近图像，以确定样本是否与反射表面接触。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112752969 A
(43)申请公布日 2021.05.04
(21)申请号 201980062879.3 (74)专利代理机构 北京坤瑞律师事务所 11494
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