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本发明目的在于提供一种具有真空吸力解耦功能的三维馈入调节装置，其包括缓冲气缸、缓冲气缸支撑板、导向轴、解耦组件、支撑组件、移动组件。所述解耦组件分为解耦合件与缓冲接触板；所述解耦合件包括交叉导轨工作台、转换板、小型交叉导轨工作台；所述支撑组件包括解耦组件底板、连接支撑板、后侧支撑板、前侧支撑板以及支撑平台；所述移动组件包括电控运动台、平移台以及升降台；所述缓冲气缸安装在缓冲气缸支撑板上，气缸杆头接触缓冲接触板。本发明在保证装置在三维运动的同时，提供应对真空吸力的运动解耦保证装置缓冲的准确稳定以及
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115751107 A
(43)申请公布日 2023.03.07
(21)申请号 202211498109.3
(22)申请日 2022.11.29
(71)申请人 济南汉江光电科技有限公司
地址 2
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