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一种基于径向磁场分布的MEMS微镜.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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一种基于径向磁场分布的MEMS微镜.pdf

    本发明公开了一种基于径向磁场分布的MEMS微镜，包括基板、外框架、内框架、镜面、第二扭转轴和第一扭转轴；外框架和内框架均为两个半圆组成的圆环，同一框架的两个半圆端部之间间隙设置，镜面设置在内框架中，内框架设置在外框架中；内框架与镜面通过第一扭转轴转动连接，外框架与基板通过第二扭转轴转动连接；镜面下方设置第一磁铁和第二磁铁，第一磁铁和第二磁铁间隙设置，第一磁铁磁极方向为轴向，第一磁铁和第二磁铁磁极方向相反；内框架朝向第一磁铁的一面设置有第一线圈，第一线圈以内框架的间隙处为界分为两部分，每部分均呈蛇

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112731654 A (43)申请公布日 2021.04.30 (21)申请号 202110192772.X (22)申请日 2021.02.20 (71)申请人 陕西科技大学 地址

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