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本申请提供一种真空蒸镀机腔室顶部的探头结构，从上到下包括：气缸、连轴器、第二中空套筒、电极固定件、探头晶振片固定件、和盖帽，所述连轴器与气缸和第一杆体固定，连轴器的外面套设有第一中空套筒，第一中空套筒的上端与气缸的壳体固定，下端与第二中空套筒固定，电极固定件与第二中空套筒的下端固定，探头晶振片固定件与第一杆体的下部固定，6个探头和晶振片均匀分布并固定在探头晶振片固定件内，盖帽套设在探头晶振片固定件的外面、且与电极固定件连接固定，盖帽的底部具有一个第一通孔，气缸每次旋转60°，带动连轴器、第一杆体
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112729095 A
(43)申请公布日 2021.04.30
(21)申请号 202011618398.7
(22)申请日 2020.12.31
(71)申请人 苏州佑伦真空设备科技有限公司
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