用于碱金属直充的原子气室制作一体化键合装置及方法.pdfVIP

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2023-06-05 发布于四川
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用于碱金属直充的原子气室制作一体化键合装置及方法.pdf

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本发明公开了用于碱金属直充的原子气室制作一体化键合装置及方法，其装置包括：真空传送机构；用于实现碱金属直充氛围的保护机构；用于实现输送及碱金属直充操作的移物机构；以及，用于实现硅片和高硼硅玻璃阳极键合的阳极键合机构；保护机构包括底座和密封罩，密封罩密封罩设于底座以形成一封闭空间；移物机构和阳极键合机构均容设于封闭空间；真空传送机构与封闭空间连通；移物机构用于将硅片和高硼硅玻璃传送至阳极键合机构。本发明实现了原子气室制作的碱金属直充的制作氛围，同时其与真空传送机构还提供了洁净、干燥的传送氛围；实现

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112723306 A (43)申请公布日 2021.04.30 (21)申请号 202011495581.2 (22)申请日 2020.12.17 (71)申请人武汉光谷航天三江激光产业技术研

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