原创力文档- 0
- 0
- 约1.58万字
- 约 19页
- 2023-06-05 发布于四川
- 举报
本发明提供一种半导体器件的形成方法，包括：提供衬底，衬底上形成有鳍部，鳍部包括密集区和稀疏区；在衬底上形成横跨鳍部的栅极结构和源漏掺杂层，源漏掺杂层位于栅极结构两侧的鳍部内；在衬底、源漏掺杂层以及栅极结构的表面上形成介质层，介质层的顶部表面高于栅极结构的顶部表面；刻蚀介质层，在介质层内形成暴露源漏掺杂层顶部的接触孔；在接触孔内形成导电结构；在介质层以及导电结构上形成掩膜层，掩膜层的开口暴露出稀疏区之间栅极结构顶部的部分介质层和部分导电结构的顶部表面；刻蚀去除暴露出的介质层、位于所述介质层底部的栅
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112750702 A
(43)申请公布日
2021.05.04
(21)申请号 20191
您可能关注的文档
- 一种利用重力场变化进行发电的纳米发电机及其制备方法.pdf
- 终端设备及拍摄方法.pdf
- 一种底泥呼吸型底质改良剂及其制备方法.pdf
- 一种优化的深层页岩气地质甜点测井综合评价方法.pdf
- 数据同步方法、装置、存储服务器及存储介质.pdf
- 用于迁移任务的电子设备、方法及存储介质.pdf
- 一种燃气比例阀.pdf
- 一种燃气比例阀.pdf
- 一种铯钨青铜/氧化钨复合材料的制备方法.pdf
- 一种燃气比例阀.pdf
- 统编版2025年春季新版七年级下册历史 第21课 明清时期的科技与文化 教案.docx
- 雅安雨城法院书记员招聘考试真题库2025.docx
- 2026届安徽合肥市高考一模高考语文试卷试题（含答案详解）.pdf
- 【专题研究】国内外城市更新研究的最新进展.pdf
- 【专题研究】老旧城区改造居民满意度影响因素研究——以遂宁市老旧城区改造为例.pdf
- 【专题研究】关于旧城空间改造理论与创意设计案例的几点思考.pdf
- 西藏拉萨市高三下学期期末物理备考重点详解.docx
- 泾县法院书记员招聘笔试真题2025.pdf
- 2026年春【苏教版】-六年级数学下册-面积的变化.pptx
- 2026年春【苏教版】-六年级数学下册-7.pptx
文档评论（0）