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为了解决如何提高真空镀膜的问题,本发明提出一种新型蒸镀机,包括蒸镀机本体、加热灯结构、镀锅、控制机构、水冷隔热机构、坩埚、离子源和驱动机构,将镀锅安装至蒸镀机本体内部,抽真空泵组进行抽真空处理,控制机构启动驱动机构,加热灯结构除去蒸镀机本体内部水分、离子源对基板表面进行离子轰击使表面粗糙,清洁并辅助镀膜,坩埚启动对基板进行镀膜,水冷隔热机构降低真空主腔体内部热源对低温泵的热辐射,既可以保障冷却效果的同时增加了蒸镀机内部气流通量,从而提高了真空泵抽真空的速度,该镀膜机结构简答,操作方便且镀膜效果好
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112725737 A
(43)申请公布日 2021.04.30
(21)申请号 202011618418.0
(22)申请日 2020.12.31
(71)申请人 苏州佑伦真空设备科技有限公司
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