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2023-06-05 发布于四川
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为了解决如何提高真空镀膜的问题，本发明提出一种新型蒸镀机，包括蒸镀机本体、加热灯结构、镀锅、控制机构、水冷隔热机构、坩埚、离子源和驱动机构，将镀锅安装至蒸镀机本体内部，抽真空泵组进行抽真空处理，控制机构启动驱动机构，加热灯结构除去蒸镀机本体内部水分、离子源对基板表面进行离子轰击使表面粗糙，清洁并辅助镀膜，坩埚启动对基板进行镀膜，水冷隔热机构降低真空主腔体内部热源对低温泵的热辐射，既可以保障冷却效果的同时增加了蒸镀机内部气流通量，从而提高了真空泵抽真空的速度，该镀膜机结构简答，操作方便且镀膜效果好

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112725737 A (43)申请公布日 2021.04.30 (21)申请号 202011618418.0 (22)申请日 2020.12.31 (71)申请人苏州佑伦真空设备科技有限公司

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