原创力文档- 1、本文档共14页，其中可免费阅读13页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
为了解决如何提高真空镀膜的问题，本发明提出一种新型蒸镀机，包括蒸镀机本体、加热灯结构、镀锅、控制机构、水冷隔热机构、坩埚、离子源和驱动机构，将镀锅安装至蒸镀机本体内部，抽真空泵组进行抽真空处理，控制机构启动驱动机构，加热灯结构除去蒸镀机本体内部水分、离子源对基板表面进行离子轰击使表面粗糙，清洁并辅助镀膜，坩埚启动对基板进行镀膜，水冷隔热机构降低真空主腔体内部热源对低温泵的热辐射，既可以保障冷却效果的同时增加了蒸镀机内部气流通量，从而提高了真空泵抽真空的速度，该镀膜机结构简答，操作方便且镀膜效果好
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112725737 A
(43)申请公布日 2021.04.30
(21)申请号 202011618418.0
(22)申请日 2020.12.31
(71)申请人 苏州佑伦真空设备科技有限公司
文档评论（0）