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基板加热装置.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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基板加热装置.pdf

    本发明涉及基板加热装置。提高在基板加热装置加热了基板时形成在基板上的膜的膜厚的均匀性。基板加热装置用于在壳体内加热基板，在所述壳体内并列设置有载置基板并对其进行加热的加热板和载置基板并对其进行冷却的冷却板，该基板加热装置具有：气体喷嘴，其沿着所述并列设置的方向，在所述加热板的上方朝向所述壳体的靠所述加热板侧的一端部形成单向气流；以及闸，其能够在所述壳体内上下移动，并对至少所述加热板和所述冷却板之间的所述基板的输送空间进行分隔，所述气体喷嘴的喷出部配置在所述闸和所述加热板之间。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112750724 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 202011143931.9 (22)申请日 2020.10.23 (30)优先权数据 2019-1990

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