一种单晶硅片制绒剂及制绒方法.pdfVIP

下载本文档

18
0
约9.79千字
约 8页
2023-06-05 发布于四川
举报
版权申诉

一种单晶硅片制绒剂及制绒方法.pdf

1、本文档共8页，其中可免费阅读7页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明提供了一种单晶硅片制绒剂，单晶硅片制绒剂包括碱液，碱液中分布有带有动能的微米颗粒，微米颗粒为含氟高分子、抗碱腐蚀有机高分子、无机非金属、金属材料中的至少一种。还提供了一种单晶硅片制绒方法，包括单晶硅片制绒剂的配置，即碱液的配置、微米颗粒加入制备混合溶液、混合溶液中微米颗粒动能的获取等步骤)，和将单晶硅片置入单晶硅片制绒剂中在第三温度及t时间内进行制绒。本发明提供的单晶硅片制绒剂及制绒方法能够影响氢气气泡的大小、密度，及在单晶硅片表面的粘附时间等参数，会直接影响制备的绒面形貌、大小以及均匀性

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112708938 B (45)授权公告日 2022.03.22 (21)申请号 202011543031.3 H01L 31/18 (2006.01) (22)申请日

您可能关注的文档

文档评论（0）

知识产权出版社 + 关注: 官方认证

文档贡献者

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

咨询Ta 进入空间

认证主体北京中献电子技术开发有限公司

IP属地四川

统一社会信用代码/组织机构代码: 91110108102011667U

1亿VIP精品文档

更多 >

一种单晶硅片制绒剂及制绒方法.pdfVIP