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2023-06-05 发布于四川
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晶圆纠偏中转台.pdf

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本发明公开了一种晶圆纠偏中转台，晶圆的边缘处设置有缺口，包括一个可旋转的吸盘、机械臂、扫描装置、主控模块以及放置台；所述扫描装置用于扫描晶圆的边缘位置以及缺口位置；所述吸盘可升降设置，其上升过程中可将晶圆从放置台顶起，下降可使晶圆落在放置台上，旋转过程中可带动晶圆转动；主控模块根据多个晶圆的边缘计算晶圆的中心位置与吸盘中心的偏移量，机械臂根据偏移量将对晶圆进行移动。通过对晶圆边缘位置读取，可以快速的识别晶圆的圆心位置，快速进行偏移纠偏，此外还可以对缺口进行扫描，进行角度纠偏。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112707130 A (43)申请公布日 2021.04.27 (21)申请号 202011598283.6 (22)申请日 2020.12.30 (71)申请人无锡奇众电子科技有限公司

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