一种高折射率激光直写光刻胶及高曲率光子引线的制备方法.pdfVIP

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2023-06-05 发布于四川
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一种高折射率激光直写光刻胶及高曲率光子引线的制备方法.pdf

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本发明属于光刻胶、飞秒激光直写、光子集成和光波导技术领域，并公开了一种高折射率激光直写液态光刻胶及高曲率光子引线的制备方法，包括光刻胶组合物、激光直写系统和高曲率光子引线的设计和制作方法，本发明所述的高折射率光刻胶组合物由芴系丙烯酸酯、多官能度丙烯酸酯单体和光引发剂组成，所述的光刻胶组合物在可以进行高速飞秒激光直写，并且在显影后得到的结构具有很低的体积收缩率、高折射率和高力学性能，能轻松大批量地实现高曲率光子引线的制备。由本发明光刻胶通过飞秒激光直写技术得到的高曲率、高折射率光子引线在光通信波段

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115755525 A (43)申请公布日 2023.03.07 (21)申请号 202211589197.8 C08F 222/14 (2006.01)