1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种半导体设备真空腔体密封门装置.pdfVIP

  • 35
  • 0
  • 约6.94千字
  • 约 9页
  • 2023-06-05 发布于四川
  • 举报

一种半导体设备真空腔体密封门装置.pdf

    本发明公开了一种半导体设备真空腔体密封门装置，包括门板、升降驱动件及两列升降导轨，两列所述升降导轨分设于真空腔体开口处的两侧，升降导轨上设有升降滑块，所述升降滑块与所述门板之间连接有处于拉伸状态的弹性件，所述门板与升降导轨之间设有开关门导轨，所述门板上设有定位于开关门导轨上的支撑件，所述开关门导轨上设有用于引导门板向真空腔体所在的一侧偏移的引导部，所述升降驱动件与门板相连且可随门板向真空腔体所在的一侧偏移。本发明具有结构简单、占用空间少、成本低等优点。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112746799 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 20191

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >