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- 2023-06-05 发布于四川
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本发明提供一种差分干涉仪装置，包括光源；第一分光棱镜，用于对入射光进行分光，以将所述入射光分为至少两条光束，第一分光棱镜具有相对的第一表面和第二表面；第一波片和第一反射镜，用于接收以第一方向从第一表面出射出的光束，第一方向为第一分光棱镜对于入射光的反射方向；第二波片和第二反射镜，用于接收以第二方向从第二表面出射出的光束；第三波片和测量镜，用于接收以第三方向从第二表面出射出的光束，以及，基于第一波片、第二波片、第三波片、第一反射镜和第二反射镜的设置，以使得至少两条光束均照射至所述测量镜上。本发明提
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112747667 B
(45)授权公告日 2022.03.18
(21)申请号 201911052228.4 审查员 刘梦婉
(22)申请日 2019.10.31
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