一种基于电弧离子镀高通量制备氮化物复合涂层的方法.pdfVIP

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2023-06-05 发布于四川
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一种基于电弧离子镀高通量制备氮化物复合涂层的方法.pdf

本发明涉及一种基于电弧离子镀高通量制备氮化物复合涂层的方法。所述的高通量制备技术为基于高通量制备平台，取一组靶列从上至下分别安装至少三个异种靶材，于另一组靶列安装等量的同种AlCr靶。先开启第二靶列，沉积AlCrN打底层，后开启第一靶列沉积成分连续变化的涂层样品。所述的高通量制备平台是基于工业用的电弧离子镀装备，采用的靶材阵列由上下至少3个弧靶组成，且弧靶成直线排列，每个弧靶由单独的弧电源控制；每个靶可以是单质金属靶或多元合金靶。本发明的高通量制备技术，可以单次制备连续成分和结构的涂层，结合硬度

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112746246 B (45)授权公告日 2022.06.24 (21)申请号 202011446825.8 C23C 14/02 (2006.01)

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