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基板处理装置、基板处理设备以及基板处理方法.pdfVIP

基板处理装置、基板处理设备以及基板处理方法.pdf

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    本记载涉及基板处理装置、基板处理设备以及基板处理方法。基板处理装置包括：旋转单元，支承基板，并使基板旋转；药液喷出单元，向所述旋转单元喷出药液；药液回收单元，与所述旋转单元相邻设置，并回收从所述旋转单元飞散的药液；升降单元，与所述药液回收单元结合，并使所述药液回收单元能够相对于所述旋转单元沿上下方向移动；以及一个以上位置矫正部件，使所述药液回收单元能够相对于所述升降单元被弹性支承，并使得药液回收单元针对所述升降单元的相对位置能够改变。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112735975 A (43)申请公布日 2021.04.30 (21)申请号 202011145117.0 (22)申请日 2020.10.23 (30)优先权数据 10-2019-0

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