一种碳化硅晶体生长余料处理再利用方法.pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约1万字
  • 约 8页
  • 2023-06-05 发布于四川
  • 举报

一种碳化硅晶体生长余料处理再利用方法.pdf

本申请公开了一种碳化硅晶体生长余料处理再利用方法。使用碳化硅晶体生长余料作为主要的原材料,因此可以有效的降低成本。过程中通过碳化硅余料的破碎筛分等处理,得到适用于原料合成的粉末余料,然后使用稀硫酸清洗减少杂质,通过将余料氧化计算其中的残留碳单质含量,并掺入一定比例的高纯硅粉,最后放入原料合成设备中加热反应,得到可以正常使用的高纯碳化硅原料。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112746325 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 202011507849.X (22)申请日 2020.12.18 (71)申请人 国宏

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档