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解析装置、解析方法及解析程序.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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解析装置、解析方法及解析程序.pdf

    提供一种解析装置，其具备：取得部，其取得对受测器件进行测量而得的复数个测量值；机器学习部，其使用复数个测量值，通过机器学习来学习位置依存成分的模型，所述位置依存成分依存于对受测器件进行测量的位置；以及，解析部，其从复数个测量值将位置依存成分分离出来，且所述位置依存成分是使用已通过机器学习部学习到的模型来算出的。另外，提供一种解析方法。另外，提供一种解析程序。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112752977 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 201980062668.X (74)专利代理机构 深圳新创友知识产权代理有

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