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本发明提供一种氮化铝单晶薄膜制备方法、氮化铝单晶薄膜及发光二极管,所述氮化铝单晶薄膜制备方法包括,提供一衬底,依次于衬底上生成氮化铝薄膜,铝化层以及氮化铝外延层。利用本发明,可有效提高晶体稳定性,得到的晶体整片不雾化无裂纹、晶体质量高。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112725896 B
(45)授权公告日 2022.04.22
(21)申请号 201911028132.4 H01L 21/02 (2006.01)
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