原创力文档- 7
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- 2023-06-06 发布于四川
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一种气体混合输出系统包括供应多种气体的多个气体供应单元、气体稳压装置及气体缓冲单元，其中气体供应单元用以供应多种气体，且混合成混合气体；气体稳压装置连通于该多个气体供应单元，且调控混合气体在预设压力范围；气体缓冲单元连通于气体稳压装置，且回授混合气体的输出流量值及输出压力值至气体供应单元，使气体供应单元调节来自气体供应单元的混合气体的流量；气体稳压装置监测混合气体的压力值；当混合气体的压力值超出预设压力范围时，气体稳压装置开始动作，使混合气体的压力值回归预设压力范围。一种气体混合输出方法亦在此揭
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112780947 A
(43)申请公布日
2021.05.11
(21)申请号 20191
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