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一种194nm谱线汞灯的制作装置和方法.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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一种194nm谱线汞灯的制作装置和方法.pdf

    本发明的一个实施例公开了一种194nm谱线汞灯的制作装置和方法，所述装置包括：充制平台、第一到第四管道、气瓶、针阀、汞同位素泡壳、射频激励模块、三维调整架、第一烤箱、泵、压力表和加热带；第一管道设在充制平台内部；气瓶充有工作气体；针阀安装在第一管道的第一端口；第二管道的第一端口与第一管道的第二端口连通；第三管道的第一端口与第二管道的第二端口连通；第四管道的第一端口与第三管道的第三端口连通；汞同位素泡壳安装在第四管道的第二端口；射频激励模块安装在三维调整架上；三维调整架放置在充制平台上；第一烤箱设

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112768326 A (43)申请公布日 2021.05.07 (21)申请号 202011465220.3 (22)申请日 2020.12.14 (71)申请人 北京无线电计量测试研究所

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