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一种具有高速轴向扫描能力的三维直写光刻方法及装置.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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一种具有高速轴向扫描能力的三维直写光刻方法及装置.pdf

    本发明提供一种具有高速轴向扫描能力的三维直写光刻方法及装置，方法步骤如下：产生直写加工光束，通过控制加工光束的光强，实现灰度直写加工；加工光束经两个相互垂直放置的声光偏转器实现平面二维扫描；通过电控变焦透镜控制加工光束的汇聚与发散，分别对应产生加工光斑在物镜焦面附近的前离焦和后离焦，从而实现电控高速轴向扫描。本发明与传统电扫描直写光刻方法及装置相比，采用电控变焦透镜实现轴向电控高速扫描，进一步提升了扫描加工速度与加工效率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112764326 A (43)申请公布日 2021.05.07 (21)申请号 202110081492.1 (22)申请日 2021.01.21 (71)申请人 浙江大学 地址 31

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