一种超纯水的处理工艺及系统.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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本发明提供一种超纯水的处理工艺,其中对进水进行预处理及净化处理,还包括以下步骤:将经过净化处理的初级非离子水流通过强阴离子树脂塔得到次级非离子水,将所述次级非离子水流通过分离床单元。本发明提供的超纯水处理工艺及系统针对弱离子性物质如SiO2和B的吸附能力较高,SiO2可以稳定的达成0.5ppb以下的指标,硼可以稳定的达到10ppt以下的指标,更优的是,SiO2可以达到0.1ppb以下,硼可以达到1ppt以下。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112759031 A (43)申请公布日 2021.05.07 (21)申请号 202011490176.1 (22)申请日 2020.12.17 (71)申请人 苏州业华环境科技有限公司

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