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一种抛光垫.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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一种抛光垫.pdf

    本发明公开一种抛光垫，包括抛光层，所述抛光层包括抛光表面和位于抛光表面上的抛光单元，所述抛光单元至少为一个，抛光单元组成抛光单元群，抛光单元群的一端形成接触表面，接触表面与被研磨材料直接接触，每个抛光单元在接触表面投影为平行四边形；多个抛光单元分别组成第一部分和第二部分，第一部分沿第一方向延伸并均匀间隔，第二部分沿与第一方向平行的方向延伸并均匀间隔；并且，抛光单元的接触表面的面上具有通道，且包括第一通道和第二通道；本发明抛光垫的结构与限定的抛光单元面积比，有效面积比、有效通道体积比以及有效通道的

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112757154 A (43)申请公布日 2021.05.07 (21)申请号 202110087557.3 (22)申请日 2021.01.22 (71)申请人 湖北鼎汇微电子材料有限公司

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