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激光系统和电子器件的制造方法.pdfVIP

激光系统和电子器件的制造方法.pdf

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    本公开的一个观点的激光系统通过波长转换系统将利用第1放大器对从第1半导体激光器系统输出的第1脉冲激光进行放大而得到的第2脉冲激光，波长转换为紫外线的第3脉冲激光，利用准分子放大器对第3脉冲激光进行放大。第1半导体激光器系统包含：第1电流控制器，其对流过第1半导体激光器的电流进行控制，以使从以单纵模进行振荡的第1半导体激光器输出的第1激光产生啁啾；以及对第1激光进行脉冲放大的第1半导体光放大器。激光系统具有控制部，该控制部对第1脉冲激光的啁啾量进行控制，以得到从外部装置指示的目标谱线宽度的准分子激

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112771737 A (43)申请公布日 2021.05.07 (21)申请号 201880098238.9 (51)Int.Cl.

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