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提供一种能够抑制衍射光栅的反射特性的偏差的半导体光元件及其制造方法。半导体光元件具备:包含硅且具有波导的基板;接合于所述基板,包含由III‑V族化合物半导体形成的芯层的第一半导体元件;及包含接合于所述基板的衍射光栅的第二半导体元件,所述衍射光栅具有第一半导体层和将所述第一半导体层埋入的第二半导体层,所述第一半导体层及所述第二半导体层由III‑V族化合物半导体形成,所述衍射光栅对在所述波导中传播的光进行反射。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112787214 A
(43)申请公布日 2021.05.11
(21)申请号 202011231539.X
(22)申请日 2020.11.06
(30)优先权数据
2019-2034
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