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一种离子泵新型短抽口结构.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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一种离子泵新型短抽口结构.pdf

    本发明公开了一种离子泵新型短抽口结构，涉及离子泵的技术领域，包括离子泵泵体，离子泵泵体的泵腔为真空腔体，真空腔体内设有抽气单元，在离子泵泵体顶部向下开设有缺口；短抽气管道，短抽气管道沿竖向装配在离子泵泵体顶部，短抽气管道下端开口与真空腔体相连通，短抽气管道的顶部设有环形凸台；松套法兰，松套法兰可转动的套设在短抽气管道上。本发明的离子泵新型短抽口结构的离子泵泵体上开设缺口，增加了螺栓的操作空间，螺栓能够在缺口内向上插入松套法兰的螺栓孔中，进而能够缩短短抽气管道的长度，同时保证缺口和松套法兰之间的距

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112768337 A (43)申请公布日 2021.05.07 (21)申请号 202011559027.6 (22)申请日 2020.12.25 (71)申请人 上海三井真空设备有限公司

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