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供液装置.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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供液装置.pdf

    本发明涉及一种供液装置。所述供液装置包括：储液罐，用于储存处理液；第一管道，所述第一管道的输入端连接所述储液罐的输出端；第二管道，所述第二管道的输入端连接所述第一管道的输出端、所述第二管道的输出端连接所述储液罐的输入端，用于对所述储液罐中的处理液进行内循环；第三管道，所述第三管道的输入端连接所述第一管道的输出端、所述第三管道的输出端连接处理泵，所述处理泵将所述处理液泵送至处理机台，所述第三管道中的所述处理液的流速在所述处理机台处于运行状态和所述处理机台处于闲置状态时相同。本发明在所述处理机台在进

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112786499 B (45)授权公告日 2021.12.17 (21)申请号 202110265196.7 H01L 27/11551 (2017.01)

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