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背板、溅射靶及它们的制造方法.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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背板、溅射靶及它们的制造方法.pdf

    课题为提供能够减小槽的位置偏移的背板的制造方法。本发明为包括将盖构件与在单面具有槽的板状的主体接合的背板的制造方法，槽包含沿长度方向延伸的至少2个第1部分，主体与盖构件的被接合区域包含沿长度方向延伸且与至少2个第1部分中相对的各2个侧面对应的至少4个第1被接合区域，至少4个第1被接合区域中的主体与盖构件的通过下述工序实施：(a)在与1个第1部分中的1个侧面对应的1个第1被接合区域中，将主体与盖构件接合；(b)在其余被接合区域中的与其他第1部分中的1个侧面对应的1个被接合区域中，将主体与盖构件接合

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112805402 A (43)申请公布日 2021.05.14 (21)申请号 201980065599.8 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所

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