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一种改善探测器芯片清洗工艺碎片的工装夹具.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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一种改善探测器芯片清洗工艺碎片的工装夹具.pdf

    本发明涉及一种改善探测器芯片清洗工艺碎片的工装夹具，属于芯片制造领域。本发明的工装夹具的清洗舟高度为65mm，为50mm直径的硅片留有足够的空间；所述清洗舟的顶部设置一个压条，使得硅片在清洗的过程中被限制在了清洗舟内部；所述清洗舟两端各增加了一个提手，便于清洗硅片的操作人员操作。本发明能提高清洗效率并大大降低了清洗过程中由于水流不稳定造成的碎片，本发明在硅基四象限激光探测器光敏芯片清洗过程中的碎片率明显改善，并且改进的方法应用到其余科研项目上效果明显。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112768387 A (43)申请公布日 2021.05.07 (21)申请号 202011587479.5 (22)申请日 2020.12.29 (71)申请人 西南

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