一种管状靶材的绑定方法.pdfVIP

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2023-06-06 发布于四川
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一种管状靶材的绑定方法.pdf

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本发明涉及一种管状靶材的绑定方法，所述绑定方法包括如下步骤：将包套内管的外表面进行车削螺纹处理，然后将靶材材料粉末填充至所述包套内管的外表面与包套外管的内表面形成的腔体中，依次进行脱气处理和热等静压处理后，除去所述包套外管，获得将所述包套内管与靶管绑定的管状靶材。所述绑定方法通过在包套内管的外表面进行车削螺纹处理，省去了原有的中间层，不仅可以解决靶管与作为衬管的包套内管之间热膨胀系数不匹配的问题，还可以保证靶管的厚度尺寸满足使用要求，从而有效提高了管状靶材的成品率，而且包套内管与靶管之间的焊接结

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112743075 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 202011592322.1 (22)申请日 2020.12.29 (71)申请人宁波江丰电子材料股份有限公司