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用于紫外线光刻的玻璃陶瓷及其制造方法.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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用于紫外线光刻的玻璃陶瓷及其制造方法.pdf

    一种极紫外线掩模及制造该极紫外线掩模的方法，包括：提供玻璃陶瓷块体；从该玻璃陶瓷块体形成玻璃陶瓷基板；及沉积平坦层于该玻璃陶瓷基板上。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112759278 A (43)申请公布日 2021.05.07 (21)申请号 202011604055.5 (51)Int.Cl.

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