半导体存储器装置.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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一种半导体存储器装置包括:层叠结构;以及沟道结构,其穿过层叠结构,其中,沟道结构包括穿过层叠结构的沟道层和围绕沟道层的存储器层,层叠结构包括接触沟道层的栅极,并且沟道层和栅极形成肖特基结。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112802894 A (43)申请公布日 2021.05.14 (21)申请号 20201

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