用于控制将EUV靶材料引入EUV室的装置和方法.pdfVIP

用于控制将EUV靶材料引入EUV室的装置和方法.pdf

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一种用于控制将EUV靶材料引入EUV室的装置和方法，其中当在EUV室中形成等离子体不需要EUV靶材料时，诸如在EUV材料的分配器最初被启动或被调节的时段，选择性地阻止EUV靶材料进入EUV室。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112772000 A (43)申请公布日 2021.05.07 (21)申请号 201980063225.2 A ·梅迪纳 ·奥斯加拉　

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