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激光退火系统和激光退火方法.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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激光退火系统和激光退火方法.pdf

    本发明公开了一种激光退火系统和使用其进行的激光退火方法。所述激光退火系统包括：固定的平台(1)、嵌入在所述平台(1)内的可密封的工艺腔室(2)以及相对于所述平台(1)可移动的光学系统；所述工艺腔室的腔室空间里只设置有吸附卡盘组件。根据本发明的激光退火系统大幅减小了工艺腔室的体积，易于实现工艺腔室的无氧环境控制，并且在工艺过程中避免了因系统运动产生颗粒。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112786510 A (43)申请公布日 2021.05.11 (21)申请号 20191

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