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本发明公开了一种以GM制冷机为冷源的三级低温泵装置，包括进气管路、第一吸附单元、第二吸附单元以及与第一吸附单元、第二吸附单元相连的气体抽送单元，所述进气管路与第一吸附单元相连，所述第一吸附单元、第二吸附单元均设有独立密闭的真空腔体及分别位于两个所述腔体内的GM制冷机，两个所述腔体结构之间通过管路连通。本发明中，通过将两个GM制冷机的设置，并单独放置在两个真空腔体内，并在两个真空腔体之间设置插板阀，通过一级冷板、二级冷板和三级冷板分别置于两个独立的真空腔体中，既可以实现对三级冷板对混合气体的独立吸
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115751757 A
(43)申请公布日 2023.03.07
(21)申请号 202211273417.6 B01D 53/04 (2006.01)
(22)申请日 2022.10.
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