1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

集成的反射仪或椭偏仪.pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约2.03万字
  • 约 21页
  • 2023-06-06 发布于四川
  • 举报

集成的反射仪或椭偏仪.pdf

    一种与处理工具集成的反射仪或椭偏仪，包括：源模块，所述源模块经配置以产生输入束；和第一镜，所述第一镜布置为接收输入束。第一镜经配置以使输入束准直和将输入束导向孔板。孔板具有至少两个孔。至少两个孔中的一个布置为从输入束的一部分限定测量束，并且至少两个孔中的一个布置为从输入束的一部分限定参考束。光学元件布置在参考束的光路内并且在测量束的光路外。光学元件经配置以将参考束导向第三镜。第二镜布置为接收测量束和将测量束通过窗口聚焦并且聚焦至样本的表面上。窗口形成处理工具的腔室的部分，并且样本设置在腔室内。测

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112762843 A (43)申请公布日 2021.05.07 (21)申请号 202011191577.7 (22)申请日 2020.10.30 (30)优先权数据 16/672,23

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >