原创力文档- 2
- 0
- 约1.26万字
- 约 13页
- 2023-06-06 发布于四川
- 举报
本发明提供一种直线型压电膜微驱动器，通过薄膜沉积工艺在基底正表面依次沉积下电极、压电膜材料和上电极形成多层结构；利用刻蚀工艺对多层结构中的上电极、压电膜材料层和下电极进行光刻及图形化，形成多根形状、尺寸相同的条形驱动单元；每根条形驱动单元均具备上电极、压电膜材料层和下电极；采用深刻蚀工艺对基底背部加深槽反应离子刻蚀和/或湿法腐蚀，将基底的厚度减薄至预设厚度以下，制备出背部腔体以及形成驱动振膜，获得直线型压电膜微驱动器。本发明能有效降低器件整体厚度，可以与标准MEMS产线完全兼容，具备批量化生产能
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112769350 A
(43)申请公布日 2021.05.07
(21)申请号 202011349260.1
(22)申请日 2020.11.26
(71)申请人 成都度控科技有限公司
文档评论（0）