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- 2023-06-06 发布于四川
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本发明提供了一种微观可视化实验中微米位移垂向调整方法，包括：在底玻璃板和顶玻璃板之间设置多级压电陶瓷纳米定位器，使多级压电陶瓷纳米定位器中的各级所述压电陶瓷纳米定位器与直流调压器并联；使各级所述压电陶瓷纳米定位器在竖直方向上错开设置；使得从底玻璃板到顶玻璃板之间的整体高度不超过10mm；通过直流调压器同时启动或先后启动各级压电陶瓷纳米定位器，调整玻璃模型的高度；本发明完全满足高压釜内部可利用空间狭小的需求；控制精度高，垂向位移在0～10μm范围内连续调整；调节精度±20nm；应用简单，易于操控。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112755919 B
(45)授权公告日 2022.04.19
(21)申请号 202011411055.3 (56)对比文件
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