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挡板单元及包括该挡板单元的基板处理设备.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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挡板单元及包括该挡板单元的基板处理设备.pdf

    本发明概念涉及一种挡板单元及包括该挡板单元的基板处理设备。用于处理前述基板的前述设备包括：外壳，前述外壳具有处理空间；支撑单元，前述支撑单元支撑前述基板于前述处理空间中；等离子体源，前述等离子体源自处理气体产生等离子体；及挡板单元，前述挡板单元安置于前述支撑单元上方。前述挡板单元包括挡板，前述挡板在其中形成有前述处理气体及/或前述等离子体流动通过的第一孔，且前述挡板具有形成于前述挡板的边缘区中的第二孔，前述第二孔中的每一者具有纵向方向，前述纵向方向在自上方检视时相对于前述挡板的径向方向倾斜。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112802730 A (43)申请公布日 2021.05.14 (21)申请号 20191

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