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一种具有修正装置的镀膜设备及镀膜修正方法.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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一种具有修正装置的镀膜设备及镀膜修正方法.pdf

    本发明涉及了一种具有修正装置的镀膜设备及镀膜修正方法，所述具有修正装置的镀膜设备设有水平放置的真空室，所述真空室内部设有：工件夹具装置，设于所述真空室的顶部，用于放置待镀膜的工件；膜料蒸发源，设于所述真空室的底部，用于蒸发膜料蒸汽对所述工件进行镀膜；以及修正装置，包括支撑杆与修正板，所述修正板连接于所述支撑杆上；所述修正板位于所述膜料蒸发源与所述工件夹具装置两者之间、且可沿着水平方向相对于所述工件夹具装置转动，用于调整蒸汽的分布使得所述工件上生成厚度均匀的薄膜。通过上述设置，可解决目前镀膜设备中

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112760601 A (43)申请公布日 2021.05.07 (21)申请号 202011534962.7 (22)申请日 2020.12.22 (71)申请人 南京光宝光电科技有限公司

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