一种基于二分法的叠层成像轴向距离误差快速校正方法.pdfVIP

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2023-06-06 发布于四川
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一种基于二分法的叠层成像轴向距离误差快速校正方法.pdf

本发明公开了一种基于二分法的叠层成像轴向距离误差快速校正方法,包括：预准备阶段，确定轴向距离的搜索范围，设定初始距离，将衍射图样和初始距离带入叠层成像算法中迭代，当迭代满足第一终止条件时，获得重建物函数Oi(x,y,Lm)；轴向距离误差校正阶段，计算物函数Oi(x,y,Lm)的清晰度偏值Δ，依据清晰度偏值Δ确定修正方向，在修正方向上将搜索范围缩小，并将新的搜索范围的中间值代入叠层成像算法中，重建新的物函数，依次往复计算，直至相邻计算的轴向距离满足收敛条件，输出最佳轴向距离；输出结果阶段，将校正后

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115755378 A (43)申请公布日 2023.03.07 (21)申请号 202211238906.8 (22)申请日 2022.10.11 (71)申请人江苏科技大学

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