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太阳能电池边缘绕镀的去除方法以及太阳能电池的制作方法.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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太阳能电池边缘绕镀的去除方法以及太阳能电池的制作方法.pdf

    一种太阳能电池边缘绕镀的去除方法以及太阳能电池的制作方法,属于太阳能电池技术领域。太阳能电池边缘绕镀的去除方法包括：在制绒后的N型硅片正面形成硼掺杂层和硼硅玻璃层；在N型硅片背面依次形成隧穿氧化层和掺磷非晶硅层或者在N型硅片背面形成磷掺杂层，在这过程中掺磷非晶硅层或者磷掺杂层绕镀至N型硅片侧边和硼硅玻璃层表面边缘形成边缘绕镀层；采用等离子气体刻蚀的方法将边缘绕镀层刻蚀去除。其能够有效地去除边缘绕镀，且不容易破坏PN结。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112768562 A (43)申请公布日 2021.05.07 (21)申请号 202110032636.4 (22)申请日 2021.01.11 (71)申请人 东方日升新能源股份有限公司

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