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制造用于EUV装置的照明系统的方法.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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制造用于EUV装置的照明系统的方法.pdf

    一种用以制造用于EUV装置的照明系统的方法，包含以下步骤：将照明系统(ILL)的反射镜模组(FAC1，FAC2，CO)安装在为反射镜模组所提供的安装位置处，以建立从源位置(SP)延伸到待照明的照明场(BF)的照明光束路径；在照明光束路径的第一反射镜模组(FAC1)的上游的输入耦合位置处将测量光耦合到照明光束路径中；在测量光在照明光束路径的每一反射镜模组处反射之后，检测测量光；从所检测的测量光中确定至少一个系统测量变量的实际测量值，其中实际测量值表示照明系统的系统测量变量的实际状态；从实际测量值中

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112805624 A (43)申请公布日 2021.05.14 (21)申请号 201980065292.8 (74)专利代理机构 北京市柳沈律师事务所

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